FELTON(費爾頓) FSE系列熱式質(zhì)量流量控制器

FSE系列熱式質(zhì)量流量控制器集成了壓力傳感器可實現(xiàn)壓力波動不敏感，增加了壓力異常報警及響應(yīng)時間可調(diào)功能，保證穩(wěn)定的流量控制，適用于半導(dǎo)體等對流量控制穩(wěn)定性要求較高的行業(yè)。

• 類型：FSE系列
• 流量規(guī)格(N?)：10sccm-50slm
• 閥類型：NC:常閉
• 閥關(guān)閉時流量：0.5%F.S.(典型值)
• 流量控制范圍：1~100% F.S.