FELTON(費(fèi)爾頓) TCP系列氣體質(zhì)量流量控制器

TCP 系列氣體質(zhì)量流量控制器，專為集成電路設(shè)計(jì)的高端產(chǎn)品，擁有更寬的流量比和設(shè)定精度。配置出色的低溫漂特性，獨(dú)特的 PID 控制算法以及非線性氣體換算函數(shù)，可在全量程范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)快速的響應(yīng)，控制精度亦達(dá)到最佳，最大程度降低流量過程控制的誤差。

• 控制閥類型：常開、常閉
• 關(guān)閉時(shí)流量： <1% F.S.
• 流量測量范圍：15-100% F.S.
• 流量控制范圍：1~100% F.S.
• 流量精度：+0.2% F.S.(0≤20% F.S.)、+1% F.S.(0>20% F.S.)