·高溫環(huán)境適應性,最高可到140℃℃;
·高精度和快速響應;
·多種氣體兼容性,支持多達100種氣體的校準,適應各種工藝氣體的需求;
·耐腐蝕設計;
·提供數(shù)字化接口(如RS485或EtherCAT),便于與工藝設備集成
HCE系列高溫質(zhì)量流量控制器(MFC)是一款專為高溫環(huán)境下氣體流量精確控制設計的設備,廣泛應用于半導體制造領(lǐng)域。
·高溫環(huán)境適應性,最高可到140℃℃;
·高精度和快速響應;
·多種氣體兼容性,支持多達100種氣體的校準,適應各種工藝氣體的需求;
·耐腐蝕設計;
·提供數(shù)字化接口(如RS485或EtherCAT),便于與工藝設備集成