X熒光光譜儀由激發(fā)源（X射線管）和探測系統(tǒng)構成。X熒光光譜儀能將探測系統(tǒng)所收集到的信息轉換成樣品中各種元素的種類及含量。

X熒光光譜儀是一種的、非破壞式的物質測量方法，X射線熒光是用高能量X射線或伽瑪射線轟擊材料時激發(fā)出的次級X射線，這種現象被廣泛用于元素分析和化學分析，特別是在金屬，玻璃，陶瓷和建材的調查和研究，地球化學，法，考古學和藝術品，例如油畫和壁畫。

X熒光光譜儀在無損檢測方面，具有其他剖析技能無法比較的長處，應用X射線光譜儀掃描辦法探測土壤表層下面的是元素是X射線無損檢側技能的一個主要使用范疇，X熒光光譜儀根據有手持和臺式兩種，所采用的都是X熒光光譜儀的原理，X熒光光譜儀由激發(fā)源和探測系統(tǒng)構成，根據各元素的特征X射線的強度，也可以獲得各元素的含量信息。

X熒光光譜儀是一種無損的，應用廣泛的光譜分析儀器，X熒光光譜儀由激發(fā)源和探測系統(tǒng)構成，X射線管產生入射X射線，激發(fā)被測樣品，受激發(fā)的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。

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